육불화텅스텐 WF6 MSDS (물질안전보건자료)
기본정보
▶ 제품명 : 육불화텅스텐 WF6 (Tungsten hexafluoride)
▶ 회사명 : 후성
▶ 최초작성일 : 2009-04-02
▶ 최종개정일 : 2020-02-26
제도 개정 사항 확인 – MSDS(물질안전보건자료)란?
물질 특성 정보
▶ 분자식 : WF6
▶ 구조식
▶ 화학물질군 : 강할로젠화제류
▶ 상태 : 압축가스, 액체
▶ 색상 : 무색
▶ 냄새 : 자료 없음
▶ 용도
- 반도체 금속 배선 공정 사용
- 반도체 증착 공정에서 사용되는 Deposition gas
- WF6는 화학반응을 통해 불소(F)는 날리고 텅스텐(W)을 웨이퍼 위로 증착시켜 Metal Contact를 형성
특수건강진단(특수검진) 및 작업환경측정 대상 물질 확인 방법
구성 성분의 명칭 및 함유량
| 화학물질명 / 관용명 및 이명 | CAS 번호 또는 식별번호 | 함유량(%) |
| WF6 / Tungsten hexafluoride | 7783-82-6 / KE-35012 | >99.9995 |
법적 규제 현황
가. 산업안전보건법에 의한 규제
- 관리대상유해물질
- 작업환경측정물질(6개월)
- 특수건강진단물질(12개월)
- 노출기준설정물질
나. 화학물질관리법에 의한 규제 : 해당 없음
다. 위험물안전관리법에 의한 규제 : 해당 없음
라. 폐기물관리법에 의한 규제 : 해당 없음
마. 기타 국내 및 외국법에 의한 규제
국내규제
- 잔류성유기오염물질관리법 : 규제되지 않음
국외규제
- 로테르담협약물질 : 규제되지 않음
- 스톡홀름협약물질 : 규제되지 않음
- 몬트리올의정서물질 : 규제되지 않음
유사명(국문)
- 텅스텐헥사플루오르화물
- 텅스텐(VI)플루오르화물
유사명(영문)
- TUNGSTEN HEXAFLUORIDE
- TUNGSTEN(VI) FLUORIDE
- Tungsten hexafluoride
- Tungsten(VI) fluoride
- Tungsten hexafluoride
- Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)-
- Hexafluorotungsten
- Tungsten fluoride (WF6)
- HSDB 8038
- Hexafluorotungsten
- hexakis(fluoranyl)tungsten
- Tungsten hexafluoride 99%
육불화텅스텐 WF6 MSDS 다운로드
산업안전보건법
제111조(물질안전보건자료의 제공)
[시행 2021. 1. 16.] [법률 제16272호, 2019. 1. 15., 전부개정]
제111조(물질안전보건자료의 제공) ① 물질안전보건자료대상물질을 양도하거나 제공하는 자는 이를 양도받거나 제공받는 자에게 물질안전보건자료를 제공하여야 한다.
② 물질안전보건자료대상물질을 제조하거나 수입한 자는 이를 양도받거나 제공받은 자에게 제110조제3항에 따라 변경된 물질안전보건자료를 제공하여야 한다.
③ 물질안전보건자료대상물질을 양도하거나 제공한 자(물질안전보건자료대상물질을 제조하거나 수입한 자는 제외한다)는 제110조제3항에 따른 물질안전보건자료를 제공받은 경우 이를 물질안전보건자료대상물질을 양도받거나 제공받은 자에게 제공하여야 한다.
④ 제1항부터 제3항까지의 규정에 따른 물질안전보건자료 또는 변경된 물질안전보건자료의 제공방법 및 내용, 그 밖에 필요한 사항은 고용노동부령으로 정한다.
제114조(물질안전보건자료의 게시 및 교육)
[시행 2021. 1. 16.] [법률 제16272호, 2019. 1. 15., 전부개정]
제114조(물질안전보건자료의 게시 및 교육) ① 물질안전보건자료대상물질을 취급하려는 사업주는 제110조제1항 또는 제3항에 따라 작성하였거나 제111조제1항부터 제3항까지의 규정에 따라 제공받은 물질안전보건자료를 고용노동부령으로 정하는 방법에 따라 물질안전보건자료대상물질을 취급하는 작업장 내에 이를 취급하는 근로자가 쉽게 볼 수 있는 장소에 게시하거나 갖추어 두어야 한다.
② 제1항에 따른 사업주는 물질안전보건자료대상물질을 취급하는 작업공정별로 고용노동부령으로 정하는 바에 따라 물질안전보건자료대상물질의 관리 요령을 게시하여야 한다.
③ 제1항에 따른 사업주는 물질안전보건자료대상물질을 취급하는 근로자의 안전 및 보건을 위하여 고용노동부령으로 정하는 바에 따라 해당 근로자를 교육하는 등 적절한 조치를 하여야 한다.
육불화텅스텐 WF6 MSDS