후성 디플루오로메탄 CH2F2 [Difluoromethane] MSDS

▶ 제품명 : 디플루오로메탄

▶ 회사명 : 후성

▶ 최초작성일 : 2012-09-12

▶ 최종개정일 : 2024-01-13

MSDS확인방법 – CAS번호 확인방법

분자식 : CH2F2

상태

• 압축 기체
• 무색, 무취 기체. 주로 스틸 실린더 내에서 응축됨

색상

• 무색

냄새

• 단 냄새
• 무취

용도

• 반도체 식각 공정에서 사용되는 Dry etching gas

·가연성이 매우 높음

유사명(국문)

• 메틸렌 플루오라이드
• 메테인, 다이플루오로-
• 탄소 플루오라이드 하이드리드
• 프레온 32
• 제네트론 32
• R32 (냉매)
• HFC-32
• R 32
• 프레온 32
• 제네트론 32
• 카본 플루오라이드 하이드라이드
• 메틸렌 다이플루오라이드
• Khladon 32

유사명(영문)

• Methylene fluoride
• methane, difluoro-
• carbon fluoride hydride
• Freon 32
• Genetron 32
• R32 (refrigerant)
• HFC-32
• R 32
• Freon 32
• Genetron 32
• Carbon fluoride hydride
• Methylene difluoride
• Khladon 32

후성 디플루오로메탄 [Difluoromethane] MSDS 물질안저보건자료