▶ 제품명 : 육불화텅스텐 WF6 (Tungsten hexafluoride)
▶ 제조업체 : 후성
▶ 최초작성일 : 2009-04-02
▶ 최종개정일 : 2020-02-26
▶ 기본정보
- 분자식 : WF6
- 구조식
- 화학물질군 : 강할로젠화제류
- 상태 : 압축가스, 액체
- 색상 : 무색
- 냄새 : 자료 없음
용도
- 반도체 금속 배선 공정 사용
- 반도체 증착 공정에서 사용되는 Deposition gas
- WF6는 화학반응을 통해 불소(F)는 날리고 텅스텐(W)을 웨이퍼 위로 증착시켜 Metal Contact를 형성
▶ 구성 성분의 명칭 및 함유량
| 화학물질명 / 관용명 및 이명 | CAS 번호 또는 식별번호 | 함유량(%) |
| WF6 / Tungsten hexafluoride | 7783-82-6 / KE-35012 | >99.9995 |
▶ 법적 규제 현황
가. 산업안전보건법에 의한 규제
- 관리대상유해물질
- 작업환경측정물질(6개월)
- 특수건강진단물질(12개월)
- 노출기준설정물질
나. 화학물질관리법에 의한 규제 : 해당 없음
다. 위험물안전관리법에 의한 규제 : 해당 없음
라. 폐기물관리법에 의한 규제 : 해당 없음
마. 기타 국내 및 외국법에 의한 규제
국내규제
잔류성유기오염물질관리법 : 규제되지 않음
국외규제
- 로테르담협약물질 : 규제되지 않음
- 스톡홀름협약물질 : 규제되지 않음
- 몬트리올의정서물질 : 규제되지 않음
유사명(국문)
- 텅스텐헥사플루오르화물
- 텅스텐(VI)플루오르화물
유사명(영문)
- TUNGSTEN HEXAFLUORIDE
- TUNGSTEN(VI) FLUORIDE
- Tungsten hexafluoride
- Tungsten(VI) fluoride
- Tungsten hexafluoride
- Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)-
- Hexafluorotungsten
- Tungsten fluoride (WF6)
- HSDB 8038
- Hexafluorotungsten
- hexakis(fluoranyl)tungsten
- Tungsten hexafluoride 99%