▶ 제품명 : 육불화부타디엔 C4F6 (Hexafluoro-1,3-butadiene)
▶ 제조업체 : 후성
▶ 최초작성일 : 2008-10-06
▶ 최종개정일 : 2020-02-26
▶ 기본정보
- 분자식 : C4F6
- 구조식
- 화학물질군 : 지방족 포화 탄화수소류
- 상태 : 액화 가스
- 색상 : 무색
- 냄새 : 자료 없음
용도
- 반도체용 에칭가스
- 반도체 식각 공정에서 사용되는 Dry etching gas
▶ 구성 성분의 명칭 및 함유량
| 화학물질명 / 관용명 및 이명 | CAS번호 또는 식별번호 | 함유량(%) |
| C4F6 / Hexafluoro-1,3-butadiene | 685-63-2 / KE-05-0694 | 99.9 |
▶ 법적 규제현황
가. 산업안전보건법에 의한 규제
- 노출기준설정물질
- 공정안전보고서 제출 대상 물질
나. 화학물질관리법에 의한 규제
- 유독물질
- 사고대비물질
다. 위험물안전관리법에 의한 규제 : 해당 없음
라. 폐기물관리법에 의한 규제 : 지정폐기물
마. 기타 국내 및 외국법에 의한 규제
국내규제
- 잔류성유기오염물질관리법 : 규제되지 않음
국외규제
- 로테르담협약물질 : 규제되지 않음
- 스톡홀름협약물질 : 규제되지 않음
- 몬트리올의정서물질 : 규제되지 않음
물질명
- 퍼플루오로뷰타다이엔(Perfluorobutadiene)
유사명(국문)
- 헥사플루오로뷰타다이엔
- 뷰타다이엔, 퍼플루오로-
- 헥사플루오로-1,3-뷰타다이엔
- 1,1,2,3,4,4-헥사플루오로-1,3-뷰타다이엔
유사명(영문)
- hexafluorobutadiene
- butadiene, perfluoro-
- hexafluoro-1,3-butadiene
- 1,1,2,3,4,4-hexafluoro-1,3-butadiene